主要適用領域： 生產技術、材料研究、微系統技術。

在微系統中，金屬元件越來越多地被低成本聚合物材料的元件所取代。對于聚合物的厚度測量，DIN32567標準現已可供使用，這是由德國聯邦物理技術研究院(PTB)專家制定的眾多標準之一。該標準介紹了用于精確測量聚合物層厚度的光學測量法和接觸測量法。接觸法包括確定觸針式儀器的接觸力和針尖半徑，這是無損精確接觸式輪廓測量的基本先決條件。

從運動傳感器到智能手機，越來越多的日常用品都在使用由聚合物材料制成的零部件。這些聚合物材料的尺寸可以通過光學法或接觸法來測量，但是，通過光學測量方法測量透明材料的厚度，以及用觸針測量硬質基材上的涂層時會出現系統偏差。對于接觸測量法，主要影響因素是探測力和針尖半徑。對于機械性能隨時間變化的粘性材料，不同的掃描速度也會影響系統偏差的水平。

因此，PTB與歐洲其他國家計量機構合作，研究出一種修正這些系統誤差的方法，該方法已經被納入DIN32567標準中。這個標準所涉及的主要影響因素針對的是接觸測量法和光學測量法，也介紹了估計、修正和減少系統誤差的方法。在光學測量儀器中，主要影響因素是所用光學系統的有效數值孔徑，體散射材料中反射面的位置以及反射時邊界面的相移。該標準還針對白光顯微鏡和調焦儀介紹了數值確定方法，以及根據新的校準標準修正系統誤差的方法。

此項研究得到了歐洲計量研究計劃(EMRP)下的國際MeProVisc項目(粘性材料動態力學性能和長期變形行為)的支持。該項目的研究結果是將粘性材料的蠕變測量結果與動態測量值進行比較。預計納米壓痕標準ISO14577的第5部分將涵蓋這些方法的標準。另外，與ISO / TC213相關的領域也要進行國際標準化研究。

由硅制成的參考懸臂，用于確定觸針儀器的探測力。根據橫梁尾部標記處(見箭頭)在接觸力作用下的彎曲程度來確定接觸力。