能譜圖的橫坐標(biāo)代表的是X射線能量，單位是keV，不同元素電子躍遷所需要的激發(fā)能量是不同的，因此從根據(jù)譜峰的橫坐標(biāo)位置可以確定元素的種類。

縱坐標(biāo)cps/eV代表的是信號強度，根據(jù)檢測到的信號強度，與存儲在軟件中的標(biāo)準(zhǔn)值進行比較，經(jīng)過校正后就可以得到該元素的含量。值得注意的是，譜峰的高度與元素含量并非直接正相關(guān)，即在譜圖中看見最高的峰，不一定是含量最高的元素。

能譜分析每個元素會有多個譜峰，譜峰數(shù)量是由元素的電子層數(shù)量決定的，電子層數(shù)越多，其譜峰也越多。定量分析時，會根據(jù)元素的不同選擇其中最合適的一個譜峰計算元素含量。因此，譜峰數(shù)量的多少與元素含量沒有關(guān)系。