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半導體中的PFAS及替代方案

嘉峪檢測網        2024-01-16 11:14

PFAS,即全氟和多氟烷基物質,具有持久性、遠距離遷移性、生物累積性、生物毒性等危害,能對環境生物及人體健康產生長期不良影響。
 
近期PFAS管控
 
近年來,隨著全球PFAS污染危機意識的提高,關于在產品和工藝中限制使用PFAS的要求也越發嚴格。
 
值得注意的是,歐盟開始考慮一項提案,限制“永久化學品”物質PFAS的廣泛使用,但目前減損數量有限。不過,這一提案再次引發了半導體行業的恐慌。這與芯片在當前全球經濟發展中的重要地位相關,這一提案將對半導體供應鏈造成廣泛破壞。
 
接下來讓我們了解一下半導體中的PFAS及可替代情況。
 
半導體中的PFAS及可替代情況
 
工藝 用途 替代方案
流程
光刻 光刻膠 富士膠片Krf (248 nm)、DOWTM光刻膠已滿足PFOA或PFOS Free,但PFAS可替代情況尚不明確,部分產品中可用碳氫基潤滑脂、二硫化鉬、石墨替代
光刻膠 無替代方案
(光敏劑)
光刻膠(光致產酸劑,PAG) 能形成強酸的無氟替代品,如芳香族PAG、雜芳香族PAG(三苯基硫鎓苯并[b]噻吩- 2-磺酸,4(或7) -硝基-離子(1-)(TPS TBNO))、不含氟的PAG
光刻膠 無替代方案
(猝滅劑)
顯影 顯影液添加劑 無氟表面活性劑的專利已見報道,但可替代情況尚不明確
清洗 漂洗液添加劑 可替代情況尚不明確
刻蝕 干法刻蝕劑、 能形成強酸、具有低表面張力、低折射率的替代品
濕法刻蝕劑
清潔刻蝕劑 可替代情況尚不明確
晶圓減薄 載體晶圓表面的不粘涂層 低表面張力的替代品
焊接 氣相焊接 無替代方案
傳熱介質
其他 減反射膜 AZ Aquatar 8(氟烷酸酯)、
DOWTM減反射膜已滿足PFOA或PFOS Free,但PFAS可替代情況尚不明確
微機電系統(MEMS)加速度計、 無替代方案
MEMS圖像傳感器
模具、管道、化學容器、反應表面等惰性元件 無氟聚合物,如聚丙烯、聚酯、聚酰亞胺等
半導體器件冷卻劑 礦物油、合成油、天然油、碳氫化合物流體
真空泵工作液 性質穩定、非反應性的替代品

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來源:SGS限用物質測試服務

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