ICP-MS 分析納米顆粒本身也存在一些特有挑戰。使用ICP-MS 檢測表征納米顆粒可通過兩種不同的方法來實現，單顆粒 ICP-MS 與聯用 ICP-MS 進行納米顆粒表征的優缺點對比，每種方法均有自身的優勢和挑戰。

ICP-MS 已經成為檢測和表征溶液中納米顆粒的首選技術。與其他技術相比，ICP-MS 的獨特之處在于它能夠在一次快速分析中提供有關納米顆粒大小、粒度分布、元素組成以及數量濃度的信息。

此外，只有 ICP-MS才能同步測定樣品中溶解態分析物的濃度。ICP-MS可在兩種不同模式下使用：在單顆粒模式下表征單個顆粒， 或者與場流分離或毛細管電泳等分離技術聯用以表征大批量樣品。這兩種技術各有優劣，但是配合使用時卻能優勢互補。

納米顆粒屬于微觀顆粒，既可以天然存在，也可以 人工制造（工程制造），其尺寸范圍為10-9m 至10-7m，形狀任意 (IUPAC)。工程制造的納米顆粒在提高半導體材料到食品、藥品、化妝品以及消費 品等各類產品的性能或性質方面的使用正在迅速增加。由于這些材料具有新穎的物理和化學特性，其環境宿命和毒理學性質的許多細節都依然未知。因此，亟需一種快速、準確且靈敏的技術，用于表征 和定量各種類型樣品中的納米顆粒。

ICP-MS 最近實現的一些針對特定應用的硬件和軟件增強功能表 明它能夠滿足這些要求。ICP-MS 在檢測、表征和定量分析納米顆粒方面的主要優勢體現在它的高靈敏度和特異性，與動態光散射檢測等其他技術相比，ICP-MS 可提供更多信息。此外，與掃描電鏡或透射電子顯微鏡（SEM、 TEM）、原子力顯微鏡 (AFM) 等技術或差速離心等 分離技術相比，ICP-MS分析速度更快，而且幾乎不需要樣品前處理。 

但是，ICP-MS 分析納米顆粒本身也存在一些特有挑戰。使用ICP-MS 檢測表征納米顆粒可通過兩種不同的方法來實現，每種方法均有自身的優勢和挑戰。