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嘉峪檢測網(wǎng) 2019-05-13 09:52
真空檢漏法主要有靜態(tài)升壓法、真空計法、質(zhì)譜計法等等方法，本文就這些檢漏方法的條件、現(xiàn)象、所用設(shè)備及其靈敏度進行相關(guān)介紹。
| 檢漏方法 | 工作壓力[Pa] | 現(xiàn) 象 | 設(shè) 備 | 最小可檢漏率[Pam3／s] | |
| 靜態(tài)升壓法 | 抽真空后封閉，壓力上升 | 真空計 | 10-5～10-6 | ||
| 放電管法 | 放電顏色改變 | 放電管 | 10-3～10-4 | ||
| 高頻火花檢漏器法 | 103～10-1 | 亮點，放電顏色改變 | 高頻火花檢漏器 | 10-3～10-4 | |
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真 空 計 法 |
熱傳導(dǎo)真空計法 | 103～10-1 |
施用示漏物質(zhì)真空 計讀數(shù)變化 |
熱偶或電阻真空計 | 10-6 |
| 電離真空計法 | 10-2～10-6 | 電離真空計 | 10-9 | ||
| 差動熱傳導(dǎo)真空計法 | 103～10-1 | 熱傳導(dǎo)真空計差動組合 | 10-7 | ||
| 差動電離真空計法 | 10-2～10-6 | 電離真空計差動組合 | 10-10 | ||
| 有吸附阱的熱傳導(dǎo)真空計法 | 103～10-3 |
液氮冷卻活性炭阱， 熱傳導(dǎo)計 |
10-7 | ||
| 有吸附阱的電離真空計法 | 10-2～10-6 |
液氮冷卻硅膠阱， 冷陰極電離計 |
10-11～10-13 | ||
| 氫鈀法 | 7×101～10-5 |
氫氣通過鈀管進入 真空規(guī)，讀數(shù)變化 |
鈀管，電離計 | 10-7～10-11 | |
| 離子泵檢漏法 | 10-5～10-7 | 示漏物質(zhì)使離子流變化 | 離子泵 | 10-9～10-12 | |
| 鹵素檢漏儀內(nèi)探頭法 | 10～10-1 | 輸出儀表讀數(shù)變化 | 鹵素檢漏儀 | 10-7～10-9 | |
| 氯質(zhì)譜檢漏儀法 | 10-2 |
輸出儀表讀數(shù)及 聲響頻率變化 |
氦質(zhì)譜檢漏儀 | 10-12～10-14 | |
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質(zhì) 譜 計 法 |
射頻質(zhì)譜計法 | 10-2～10-4 |
施用示漏物質(zhì)輸出 儀表讀數(shù)變化 |
射頻質(zhì)譜計 | 10-6～10-11 |
| 回旋質(zhì)譜計法 | 10-3～10-7 | 回旋質(zhì)譜計 | 10-7～10-12 | ||
| 四極濾質(zhì)器 | 10-1～10-4 | 四極濾質(zhì)器 |
10-10～10-11 |
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來源：AnyTesting
