GBT 11446.1-2013電子級水
標準簡介
GB/T11446的本部分規定了電子級水的級別、技術指標要求、試驗方法和檢驗規則。
本部分適用于電子和半導體工業用高純清洗用水。
前言
GB/T11446預計結構如下:
———GB/T11446.1 電子級水;
———GB/T11446.2 (待定);
———GB/T11446.3 電子級水測試方法通則;
———GB/T11446.4 電子級水電阻率的測試方法;
———GB/T11446.5 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法;
———GB/T11446.6 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法;
———GB/T11446.7 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法;
———GB/T11446.8 電子級水中總有機碳的測試方法;
———GB/T11446.9 電子級水中微粒的儀器測試方法;
———GB/T11446.10 電子級水中細菌總數的濾膜培養測試方法。
本部分為GB/T11446的第1部分。
本部分按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。
本部分代替GB/T11446.1—1997《電子級水》。
本部分與GB/T11446.1—1997相比,主要有下列變化:
———“3術語和定義”中增加了“離子交換樹脂”、“無菌”和“pH”的定義(見第3章);
———修改了“5要求”中“EW-Ⅱ”、“EW-Ⅲ”和“EW-Ⅳ”級水的電阻率指標(見第5章);
———修訂了“5要求”中“EW-Ⅰ”、“EW-Ⅱ”、“EW-Ⅲ”和“EW-Ⅳ”級水的微粒數指標(見第5章);
———“5要求”中增加了“鐵”和“鉛”金屬離子及“氟”、“亞硝酸根”和“溴”陰離子的要求和指標(見第5章);
———“6 試驗方法”中增加了“鐵”、“鉛”、“氟離子”、“亞硝酸根離子”和“溴離子”的檢測方法(見第6章)。
引用標準
下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T11446.3—2013 電子級水測試方法通則
GB/T11446.4—2013 電子級水電阻率的測試方法
GB/T11446.5—2013 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法
GB/T11446.6—2013 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法
GB/T11446.7—2013 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法
GB/T11446.8—2013 電子級水中總有機碳的測試方法
GB/T11446.9—2013 電子級水中微粒的儀器測試方法
GB/T11446.10—2013 電子級水細菌總數的濾膜培養測試方法
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