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光學薄膜基本工藝講義PPT（114頁）

  • 介紹光學薄膜性能及制作工藝
    作者：中國科學院上海技術物理研究所  周東平
     
    目錄
    第一講真空系統的基本知識
    第二講制備技術
    第三講鍍膜工藝
    第四講薄膜材料
    第五講膜厚監控
    第六講電子槍和離子源工作原理和作用

  • 928.81KB
  • 科研開發
  • 2020-02-27
  • 電子電氣；材料分析
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